主要参数
分辨率:STEM HAADF 图像:70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)
TEM 信息分辨率:100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)
电子枪:标配冷场电子枪
球差校正器:STEM: NEO ASCOR
校正器自动合轴系统:日本电子NEO JEOL COSMO™ 自动合轴系统、Ad-hock合轴(SIAM)
加速电压:最高200 kV( 标配80、200 kV)
配备能谱仪,EELS能量损失谱系统
无磁场模式:标配洛伦兹模式、放大倍数 ( ×50 ~ 80 k荧光屏为参考面)
样品移动系统:X,Y,Z 轴高精度机械驱动、标配超高精度压电陶瓷驱动
操作类型RDS*4 操作模式*4
主要用途
微结构解析:包括获得材料微区的形貌、晶体结构、元素组成等。
无论是在200kV的高加速电压还是在30kV的低加速电压下,均能实现原子级分辨率的观察与分析。同时还配备了自动像差校正系统,可以自动进行快速准确的像差校正。新STEM成像技术(e-ABF法)可以更加简便地观察到含有轻元素样品的高清晰(衬度)图像。