扫描电子显微镜（scanning electron microscope）

型号：JSM-IT500HR

主要参数

加速电压、分辨率：1.5nm at 30kV, 4nm at 1kV

最大样品尺寸：178mm (d) × 80mm (h)

超大样品腔可集成原位实验台，进行原位力、电、热、光实验

搭载探测器：二次电子SE、背散射BSE、特征X射线EDX探头

其他：无需冷却水或压缩气体，对不导电样品进行铂沉积

主要用途

获得生物、材料、器件等样品表面的微区形貌、化学成分分布。